我國準分子激光技術發展現狀及趨勢研究

　　準分子激光具有波長短、能量大等特點，在集成電路光刻、材料加工、醫學、科研等領域具有重要的應用。與國外先進水平相比，我國高端準分子激光技術仍存在較大差距。本文首先簡要介紹了準分子激光的特點和發展歷史，然后分析了國內外準分子激光技術及相關典型應用的發展現狀及需求，之后提出了我國準分子激光技術發展的主要問題。最后，針對相關問題及需求，建議未來重點在基礎共性技術研究(高性能高端深紫外波段元器件設計、制備與性能表征研究，放電動力學等基礎理論及驗證研究等)、長脈沖、高重頻、大能量/ 功率技術、新興或潛在應用領域及衍生技術等研究方面繼續加大加深研究力度，為我國準分子激光的自主可控發展奠定基礎。